执行标准:HG/T 4509—2013。 工业高纯氢氟酸按用途分为四个等级。 EL级:主要用于太阳能光伏电池及液晶显示器件的制造,以及作为生产其他高纯氟化物的原料; UP级:主要用于线宽为0.8-1.2μm集成电路的清洗与蚀刻; UP-S级:主要用于线宽为0.2~0.6μm集成电路的清洗与蚀刻; UP-SS级:主要用于线宽为0.09~0.2μm集成电路的清洗与蚀刻。
品名: | 工业高纯氢氟酸 |
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用途: | 主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻,以及作为生产其他高纯氟化物的原料等。 |
别名 | 无水氢氟酸;无水氟化氢;氟化氢;氢氟酸; |
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